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CVD管式爐 高溫電爐

簡(jiǎn)要描述:CVD管式爐 高溫電爐集真空管式爐,多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,性能可靠??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù),具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡(jiǎn)單易操作等特點(diǎn)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-01-02
  • 訪  問(wèn)  量:1839
  • 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CVD管式爐 高溫電爐集真空管式爐,多通道氣路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成,可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)(有雙溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)),可預(yù)抽真空(有高真空、低真空),通多種氣氛(供氣系統(tǒng)有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器)。性能可靠??刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù),具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡(jiǎn)單易操作等特點(diǎn)。


CVD管式爐廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝,例如:碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)等等;也可適用于金屬材料的擴(kuò)展焊接以及真空或保護(hù)氣氛下熱處理。CVD管式爐 高溫電爐具有以下優(yōu)勢(shì):

1、CVD管式爐采用高純石英管或剛玉管作為內(nèi)爐膛。

2、CVD管式爐溫控系統(tǒng)采用進(jìn)口多段智能程序溫度控制儀控制,溫度控制具有良好的穩(wěn)定性、重復(fù)性。

3、可拆卸式的三面密封方式,具有良好的潔凈度和真空度;

4、耐火,保溫材料全部采用*進(jìn)的輕質(zhì)纖維制品,整機(jī)質(zhì)量輕、能耗低;

5、CVD管式爐加熱元件采用U型硅鋁(碳)棒或*電阻絲。

CVD管式爐功能以及特點(diǎn)說(shuō)明:

1、CVD管式爐內(nèi)置兩個(gè)溫區(qū),可以營(yíng)造300℃內(nèi)不同的溫度梯度;

2、雙溫區(qū)控制系統(tǒng)采用PID方式控制,控溫儀表中可以設(shè)置30段升降溫程序,每個(gè)溫區(qū)可以單獨(dú)控溫;

3、采用KF快速法蘭密封,只需要一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;

4、CVD管式爐爐蓋可打開,可以實(shí)時(shí)觀察燒結(jié)的物料狀況,并能迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)需要;

5、CVD管式爐爐膛采用進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料,保溫性能好,耐用,拉伸強(qiáng)度高,無(wú)雜球,純度高,節(jié)能效果明顯優(yōu)于國(guó)內(nèi)纖維材料;

6、加熱元件采用內(nèi)嵌式高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,經(jīng)久耐用,高溫度可達(dá)1200℃。

7、預(yù)留了真空、氣路快速接口,可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;

8、CVD管式爐預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口,可通過(guò)我司軟件,與計(jì)算機(jī)互聯(lián),可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能;可安裝無(wú)紙記錄裝置,實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、輸出。

9、CVD管式爐上蓋開啟自動(dòng)斷電,超溫報(bào)警并斷電,漏電保護(hù),操作安全可靠。




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